チタン金属薄膜を電解液中で陽極酸化法と呼ばれる電気化学的方法で酸化すると、ナノスケールの口径のチューブ（これをナノチューブと呼ぶ）がきれいに並んだ薄膜が形成される（上図）。提案しているセンサはこの薄膜をガス検出部に用いる（下図）。薄膜に検出すべきガスが付着すると薄膜の抵抗値が変化する。この変化から微量のガスを検知する。チューブの内壁に触媒金属を付着しておくと検出感度が飛躍的に向上する。